Книга довольно хорошо написана в виде рассказов старого человека молодому парню, основанных на событиях его реальной жизни, охватывающей период с нача...
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум в формате fb2, rtf, pdf, txt, epub. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.
Помогите, пожалуйста, другим читателям нашего сайта, оставьте отзыв или рецензию о прочитанной книге.
Спасибо! Ваш отзыв был отправлен на модерацию.
Отзывы о книге Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум